近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)全资子公司南昌中微半导体设备有限公司(以下简称“南昌中微”)接到来自江西兆驰半导体有限公司52腔Prismo Unimax®MOCVD设备采购订单,签约仪式日前已于南昌高新区顺利举行。

图片来源:《南昌日报》

据悉,兆驰股份计划投资 50 亿元在南昌市高新技术产业开发区(简称“南昌高新区”,下同)投资建设 Mini LED 芯片及 RGB 小间距LED 显示模组项目。据兆驰股份披露,此次总投资 50 亿元的项目,其中设备投资约 25 亿元。项目计划采购52 腔 MOCVD 设备及相应产能芯片及配套设备用于生产氮化镓 Mini LED 芯片,同时新增 300-500 条采用 COB 技术的小间距 LED 显示模组产线。项目预计于 2023 年完成设备安装调试并正式投入运营。

中微公司表示,此次产品Prismo UniMax®是中微公司于2021年6月发布的用于高性能Mini LED量产的MOCVD设备,该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔,并配置了创新的多区温度补偿加热系统,具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。

其优化设计的喷淋头实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升客户产能并降低成本。通过石墨盘晶片排布的最优化,Prismo UniMax®的加工容量可以延伸至生长164片4英寸或72片6英寸晶片,具有行业先进性。

“很荣幸能够收到来自LED龙头企业兆驰股份的这笔订单。目前,中微公司Prismo UniMax®MOCVD设备订单已超180腔,是继去年12月Prismo UniMax®MOCVD设备订单超100腔以来公司取得的又一次重要突破,这为公司未来更多的MOCVD产品开拓市场奠定了坚实的基础。” 中微公司董事长兼总经理尹志尧博士在仪式上说道,“当前Mini LED市场正蓬勃发展,中微公司将把握新机遇,凝聚新动力,与屏显行业同仁强强联合、芯屏携手,为大众带来全新‘视界’。”

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作者 li, meiyong