10月25日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)宣布全球第500台MOCVD设备顺利付运国内的LED外延片和芯片研发生产制造商。

图源:中微公司

中微公司消息显示,本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax,主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。目前,中微公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入量产,Prismo UniMax是MOCVD设备系列新一代产品。

2013年,中微公司发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE。此后,中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出了Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5产品。

文章来源:集微网

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作者 li, meiyong