颠覆传统,降本增效!卓兴半导体像素固晶机专为MiniLED直显而来

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导读:

近期,卓兴半导体就如何提高单基板上的晶圆转移速度,减小各种工序环节引入的误差和尘埃,推出了像素固晶机(已授权发明专利号:202110680675.5)-----即基板一次定位,同时转移三颗(RGB)晶圆。

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卓兴半导体AS3601像素固晶机 (专利号:202110680675.5)

一直以来,Mini LED直显屏以其高分辨率和高耐用性正获得越来越多用户的亲睐,更有潜力成为显示领域下一个增长极。不过,由于Mini LED直显屏高成本带来的高售价让消费者望而却步。据卓兴半导体负责人介绍,Mini直显屏的成本主为制造成本和材料成本。目前材料成本正随着市场用量的增加而加速下降;制造成本取决于制造工艺及其设备,如果这块没有解决Mini LED直显屏的生产成本很难得以控制。
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行业公认降低Mini LED直显屏制造成本的有效方法是:提高固晶效率和良率。传统固晶方式,通常一台固晶机只固一种颜色的晶圆,完成RGB三色固晶需要三台机器完成。每一块基板需要三次移动,三次定位。每次定位都会不同程度地造成对位误差和消耗可贵的锡膏活性时间。此外,基板移动过程中还会导致晶圆的漂移和空气中粉尘的吸附,对晶圆良率带来不利影响。

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传统固晶方式虽说能满足部分Mini LED倒装COB的固晶要求,但在固晶精度、速度和良率上再进一步提升却显得“力不从心”。因此,行业亟需全新的固晶设备和固晶方式来实现固晶效果质的飞越,从而降低制造成本,实现Mini LED直显屏在终端市场上的大规模应用。

颠覆传统,降本增效!卓兴半导体像素固晶机专为MiniLED直显而来在此背景下,卓兴半导体推出了像素固晶机(已授权发明专利号:202110680675.5)-----即基板一次定位,同时转移三颗(RGB)晶圆。相对于传统的单晶圆固晶机,效率和良率都得到了巨大提升。

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卓兴半导体AS3601像素固晶机
固晶路径缩短

卓兴半导体的像素固晶机颠覆了传统的固晶模式。一款Mini LED基板是由RGB三种颜色的Mini LED芯片转移贴合而成,传统的单臂或者双臂固晶机均是先贴合完“R”芯片,然后贴合“G”芯片,最后贴合“B”芯片,如此一来拉长了固晶路径,造成设备运行上的浪费。全新的卓兴半导体像素固晶机则优化了固晶路径,固晶视觉一次完成RGB三个芯片拍照定位,减少固晶平台移动次数,三摆臂设计同步抓取“RGB”三色芯片,交替固晶,一次性完成三色芯片的转移贴合,提升固晶效率。

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内部结构示意

不仅固晶效率得到提升,在固晶精度上卓兴半导体像素固晶机亦有出色表现。通过RGB三色芯片同时取晶/固晶,取/固晶参数更具针对性,能够提高设备良率。取晶平台配备晶圆环自动校正功能,且RGB晶圆环视觉识别方案各自独立配置,识别更准确。并通过校正(Correction)、控制(Control)和连续(Continuity)的3C固晶法则(卓兴半导体独创)实现固晶精度和速度的提升,保证固晶良率。

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另外,在线体布局和自动化组线上,卓兴半导体像素固晶机可以并联布线,实现单机多环和多机联合混打功能,采用最科学的调度路径,消除设备差异性,对最终效率和品质提供保障。在上料机制上,可对接流水线实现并联联线上板,也可选配料盒自动上料机构实现料盒式上板,还可选配晶圆环自动上料机构实现晶圆自动换环。全自动化固晶设备,可组装实现自动化封装制程产线,减少人力成本,降低人为因素的干预,不断优化提升固晶品质。

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(专利号:202110680675.5)

对于未来发展,卓兴半导体坚定以创新为导向,不断优化自身的技术研发,为Mini LED封装制程提供更优秀的解决方案。AS3601像素固晶机的推出,不仅丰富了卓兴半导体自身的产品体系,更为行业提高固晶良率、速度和精度提供了新的思路,为2022年Mini LED全力冲刺开了好头!

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作者 li, meiyong